國立臺北科技大學電機系首頁 2017民生電子研討會
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::: 積體電路製造技術 3學分
3小時
課程名稱 積體電路製造技術
英文課程名稱 Integrated circuits fabrication technologies
中文課程概要 1.MOS元件工作模式及MOSFET原理; 2.微小MOSFET的額外考慮; 3.矽晶圓的生長; 4.CMOS IC製程; 5.光罩與微影術; 6.氧化處理; 7.擴散與離子植入; 8.化學蒸氣沉積技術; 9.蒸鍍與濺鍍。
英文課程概要 In this lecture, the following topics will be introduced: 1.Operating modes & theory of MOS devices; 2.Small-geometry effects on MOS devices; 3.Silicon wafer growth; 4.CMOS IC fabrication processes; 5.Photomasks & photolithography; 6.Oxidations; 7.Diffusion & ion implantation; 8.CVD techniques; 9.Evaporation & sputtering.
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10608台北市忠孝東路三段1號 電話:(02)27712171 #2100 傳真:(02)27317187
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