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::: 積體電路製造技術 3學分
3小時
課程名稱 積體電路製造技術
英文課程名稱 Integrated circuits fabrication technologies
中文課程概要 1.MOS元件工作模式及MOSFET原理； 2.微小MOSFET的額外考慮； 3.矽晶圓的生長； 4.CMOS IC製程； 5.光罩與微影術； 6.氧化處理； 7.擴散與離子植入； 8.化學蒸氣沉積技術； 9.蒸鍍與濺鍍。
英文課程概要 In this lecture, the following topics will be introduced: 1.Operating modes & theory of MOS devices; 2.Small-geometry effects on MOS devices; 3.Silicon wafer growth; 4.CMOS IC fabrication processes; 5.Photomasks & photolithography; 6.Oxidations; 7.Diffusion & ion implantation; 8.CVD techniques; 9.Evaporation & sputtering.
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